Katalysatortechnik für Glasätzprozesse

Das Gesamtkonzept basiert auf einer nassen Abgaswäsche kombiniert mit einer nachgeschalteten katalytischen Stufe. Zunächst wird der Abgasstrom aus dem Plasmaätzprozess zur Auswaschung von Siliziumflourid (SiF4) und Flusssäure (HF) über einen 2-stufigen Wäscher in vertikaler Bauart geführt. Die Absorber bestehen dabei im wesentlichen aus einer Waschflüssigkeitsvorlage und einer Absorptionszone in kompakter, platzsparender Bauweise.

Zur Anhebung der Abgastemperatur auf die katalytisch notwendige Aktivierungstemperatur passieren die Abgase zunächst einen Kreuzstromwärmetauscher und werden im Anschluss über einen temperaturgeregelten, erdgasbetriebenen Kanalbrenner auf Solltemperatur eingestellt. Über den katalytischen SCR-Reaktoren erfolgt die Reduzierung der Stickoxide zu elementarem Stickstoff und Wasser. Als Reduktionsmittel dient eine 40%ige Harnstofflösung, die unmittelbar vor Eintritt in den jeweiligen Reaktor über eine Dosierlanze in den Abgaskanal eingedüst wird. Der nachgeschaltete statische Mischer erzeugt eine gleichmäßige Verteilung des eingedüsten Harnstoff im Abgaskanal.

Die Menge an einzudosierendem Reduktionsmittel wird über eine Abgasanalyse nach jedem SCR-Reaktor in Abhängigkeit vom eingestellten Emissionssollwert geregelt. Der gereinigte Abgasstrom verlässt den Reaktor und passiert den Wärmetauscher, wodurch der Wärmeinhalt auf die in die Anlage eintretenden kalten Abgase übertragen wird. Über ein bauseitiges Saugzuggebläse verlassen die gereinigten Abgase anschließend das System über einen Kamin in die Atmosphäre.